太陽能電池具體的制作工藝說明
新疆太陽能廠家告訴大家切片,清洗,制備絨面,周邊刻蝕,去除背面PN+結,制作上下電極,制作減反射膜,燒結,測試分檔等10步。
(1)切片:采用多線切割,將硅棒切割成正方形的硅片。
(2) 清洗:用常規的硅片清洗方法清洗,然后用酸(或堿)溶液將硅片表面切割損傷層除去30-50um。
(3) 制備絨面:用堿溶液對硅片進行各向異性腐蝕在硅片表面制備絨面。
(4) 磷擴散:采用涂布源(或液態源,或固態氮化磷片狀源)進行擴散,制成PN+結,結深一般為0.3-0.5um。
(5) 周邊刻蝕:擴散時在硅片周邊表面形成的擴散層,會使電池上下電極短路,用掩蔽濕法腐蝕或等離子干法腐蝕去除周邊擴散層。
(6) 去除背面PN+結。常用濕法腐蝕或磨片法除去背面PN+結。
(7) 制作上下電極:用真空蒸鍍、化學鍍鎳或鋁漿印刷燒結等工藝。先制作下電極,然后制作上電極。鋁漿印刷是大量采用的工藝方法。
(8) 制作減反射膜:為了減少入反射損失,要在硅片表面上覆蓋一層減反射膜。制作減反射膜的材料有MgF2 ,SiO2 ,Al2O3 ,SiO ,Si3N4 ,TiO2 ,Ta2O5等。工藝方法可用真空鍍膜法、離子鍍膜法,濺射法、印刷法、PECVD法或噴涂法等。
(9) 燒結:將電池芯片燒結于鎳或銅的底板上。
(10)測試分檔:按規定參數規范,測試分類。 生產電池片的工藝比較復雜,一般要經過硅片檢測、表面制絨、擴散制結、去磷硅玻璃、等離子刻蝕、鍍減反射膜、絲網印刷、快速燒結和檢測分裝等主要步驟。
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